회사/산업 · 삼성전자 / 공정기술

Q. Etch 대상에 따른 Plasma

소기코

Conductor Etch에서 ICP type, dielectric Etch에서 CCP type을 활용하는 이유가 무엇일까요?


2025.10.06

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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